لینک پرداخت و دانلود *پایین مطلب*
فرمت فایل:Word (قابل ویرایش و آماده پرینت)
تعداد صفحه:15
فهرست مطالب
حکاکی لایه نازک SiO2
حکاکی لایه نازک Si3N4
حکاکی قربانی ( sacrificial )
2 – 14 – ساختار پایه ( Basic structures )
2 – 14 – 1 – در میکرو ماشینینگ توده ای سیلیکون
2 – 14 – 2 در میکروماشینینگ سطحی
2 – 15 –Excimer Laser Micro Machining
3– سنسورها
انواع سنسورها به طور عمودی
Piezoresistor ها
سنسورهای پیزو الکتریک
سنسورهای خازنی
سنسورهای نوری
سنسورهای تشدیدی
میکرو سنسورها
3 – 1 سنسور فشار
3 – 1 – 1 – سنسور فشار مبتنی بر مقاومت پیزو
3 – 1 – 2 سنسور فشار خازنی
3 – 1 – 3 سنسور فشار تشدیدی
3 – 2 شتاب سنج ها
حکاکی لایه نازک SiO2
معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود.
حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد.
حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6 و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4 خوب نیست .
حکاکی لایه نازک Si3N4
حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC می باشد. SiO2 حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است. حکاکی Anisotropic برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6 و CH3F انجام می شود.
حکاکی قربانی ( sacrificial )
قابلیت انتخاب حکاکی sacrifical روی Si باید خیلی بالا باشد. مواد متداول مورد استفاده PSG و Photorestis , Polyimide ها می باشند. PSG با استفاده از Resist برداشته می شود.
Polyimide ها با استفاده از حکاکی پلاسما برداشته می شوند.
2 – 14 – ساختار پایه ( Basic structures )
2 – 14 – 1 – در میکرو ماشینینگ توده ای سیلیکون
یکی از ممکن ترین و بارزترین ساختارها الگودهی هادی های عایق شده الکتریکی است. یکی از کاربردهای آن می تواند استفاده از میدان های الکتریکی برای ساختن سلول های انفرادی باشد.
حکاکی Anisotropic به وسیله KOH به آسانی می تواند کانال های V ( grooves ) شکل را ایجاد کند، یا گودال های ( Pits ) با دیواره های مخروطی شکل را داخل سیلیکون برش دهد.
تحقیق در مورد حکاکی