رسوب شیمیایی بخار در اصل برای رسوب دادن فلزات به تنهایی توسط انتقال در خلاء و بدون انجام واکنش شیمیایی استفاده می شده است.
روش تبخیر در خلاء:
یک منبع بخار و یک زیرلایه در یک محفظه خلاء (شکل 1-3 الف) استفاده می شود. منبع بخار معمولاً یک بوته گرم شده توسط روش مقاومتی یا القایی است
برای دانلود کل پاپورپوینت از لینک زیر استفاده کنید:
دانلود پاورپوینت پوشش دهی به روش پی وی دی - 39 اسلاید